Femtika 飛秒雷射雙光子三維光聚合與三維玻璃光蝕刻機

立陶宛飛秒雷射加工商Femtika的多光子聚合（MPP）是一種能夠在微米解析度內生產任意形狀聚合物結構的技術。首先，將與光引劑混合的聚合物材料滴在載玻片上然後預先烘烤來準備光阻樣品。隨後，使用雷射直寫技術製造 3D 微結構。因此，由於光聚合的過程，聚合物在受到雷射輻射影響的液滴位置處硬化。最後，將微結構浸入有機溶劑中以顯影未聚合的光阻劑。
由於其生產複雜精密結構的卓越能力，MPP 已成為微電子設備製造的熱門選擇。其高度聚焦的光源還可以輕鬆創建複雜的 3D 形狀。

選擇性雷射蝕刻 (SLE) 是一種減材雷射技術，可製造具有微米精度複雜形狀的 3D 玻璃零件。
該技術包括兩個製造步驟：
1. 飛秒雷射改質
2. 化學蝕刻
緊密聚焦的飛秒雷射光束會造成雷射光焦點內透明材料的改變。透過空間移動雷射焦點，可以逐點地將明確的結構寫入基板。隨後，將樣品浸入蝕刻劑溶液中，蝕刻出雷射修改的區域。
SLE 經常用於電子設備和其他精密零件的製造，因為它可以實現高水平蝕刻圖案的精度和細節。此外，由於雷射光束高度聚焦，它可以用來加工非常小而複雜的物件。

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