濺鍍靶材

山陽特殊製鋼是日本最專業特殊鋼製造廠，
在特殊鋼領域，山陽所製造的軸承鋼特色是清淨度高、不純物少，所以山陽軸承鋼至今在日本的市占率是最高的。山陽也擁有專業的材料清淨度控制技術，
在濺鍍靶材部分，山陽採用：
真空熔融+惰性氣體霧化法製作出高純度、低含氧球形合金粉末，再將自家合金粉末用高溫高壓方式製作成靶材。
(山陽的真空熔融+惰性氣體霧化爐最大SIZE為2MT，是目前世界最大的霧化爐)

由於從原材料的合金配比到成品皆由山陽自家生產及管控。
因此，山陽的靶材具備以下優勢：
‧清淨度高，不純物少
‧微觀組織的成分均一性優，偏析非常少
‧靶材的PTF高，提高濺鍍效率及產能
‧靶材的韌性優，耐蝕性佳


此外，目前山陽的MRAM用磁性靶材如：
CoFeB(B含量20、30、40、50…等) 、CoFe、Co、NiFe…等，皆有製作。
也有出給使用Canon Anelva、AMAT設備的客戶實績。
也能夠依據顧客的需求進行特殊合金設計的開發。

山陽靶材製造實績：
For HDD-media - Cr/Ti , Ni/Ta , Co/W , Ni/W , Ni/Fe/W , Co/Zr/Nb , Co/Fe/Zr/Nb , Co/Fe/Ta/Mo , Co/Fe/B ...等。

For magnetic heads - Co/Fe/B , Co/Fe , Co , Ni/Fe ,Ta alloys , Tb alloys , Fe/Si/Al ...等。

For coating - Cr/V , Cr/Ti , Cr/B , Ti/Al , Ti/B , Al/Cr...等。

如您有其他合金組成之濺鍍靶材需求，歡迎您來電/來信洽詢，謝謝您。

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